Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования
Коновалов Владимир Вячеславович. Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования : диссертация... кандидата технических наук : 05.27.06 Москва, 2007 136 с. РГБ ОД, 61:07-5/3068