Введение
1. Литературный обзор
1.1.. Технология получения ф оточу верительных пленок PbS 16
1.1.1. ФЧЭ полученные методом физического напыления IS
1.1.2 ФЧЭ полученные методом химическим методом 20
1.2 Изготовление фотоприемников 25
1.3 Основные параметры фотоприемников 27
1.3.1 Шумы в фоторезисторах и полупроводдшковых структурах 34
1.3.2 Шумы в фоторезисторах на основе PbS 37
1.4 Основные свойства PbS 38
1.4.1. Оптические свойства PbS 42
1.4.2 Частотные свойства ФР на основе PbS 50
1.4.3 Механизм фотопроводимости Б пленках PbS 54
1.4.4 Роль кислорода 64
1.5 Химический состав ФЧЭ па основе PbS 72
Выводы по разделу 76
Задачи 78
2. Методы измерений параметров фотоприемников и структур 79
2.1 Измерение фотоэлектрических параметров 79
2.1.1 Установка дли измерения фоіозлектрических параметров 79
2.1.2 Установка снятия спектра идотшеш мощности шума 82
2.2 Установка для исследования спектральных характеристик 84
2.3 Термообработка исследуемых ФЧЭ 87
2.4 Растровая электронная микроскопия как метод исследовании поверхности фогочупствительных элементов .. 88
3. Экспериментальный образцы 90
3.1 Анализ технологии ФЧЭ .94
Обсуждение результатов 99
4. Результаты исследования фотоэлектрических параметров ФР 101
4.1 Фотоэлектрические параметры ФР 101
4.2 Исследование влияния влажности на параметры ФЧЭ 104
4.2.1 Исследование влияния влажности в процессе «очувствления» на параметры ФЧЭ 104
4.2.2 Исследование влияния влажности в тта параметры ФЧЭ в период их хранения 105
Обсуждение результатов 109
5. Результаты исследования спектральной плотности мощности шума фоторезисторов 112
5.1 Составляющие спектральной штотыосш мощности шума фоторезисторов 112
5.2 Спектральная плотность мощности шума фоторезисторов ФР-202 115
5.3 Спектральная плотность мощности шума фоюрезисторов 1 IS
5.4 Влияние повышенных температур гта шумы фоторезистороп 122
5.5 Влияние адсорбированного кислорода на характеристики ФЧЭ 126
5.6 Шумы фоторезисторов: конструкция или технология 132
5.7 Влияние атмосферного кислорода на СПМШ «вакуумных» ФР 136
5.8. Морфология поверхности ФЧЭ на основе PbS 137
5.9 Характеристики приборов на оспоис PbS 143
Заключение 152
Выводы 156
Литература 159
Приложения 176
