Введение
Глава 1. Обзор и анализ лазерных технологий микроструктурирования поверхности 18
Прямое травление микрорельефа лазерным пучком 19
Облучение с последующим жидкостным травлением материала 24
Запись по плёнкам фоторезистов с последующим жидкостным травлением 25
Литография с использованием фотошаблонов 30
Круговая лазерная запись... 39
Контроль качества ДОЭ 44
Глава 2. Анализ непрерывной лазерной записи скрытых изображений в хрома в широком диапазоне скоростей сканирования 49
Оценки параметров теплофизических процессов при записи в плёнках хрома на КЛЗС 51
Расчёт и анализ температурного поля для плёнки хрома на кварцевой подложке в процессе воздействия движущимся лазерным пучком 56
Глава 3. Экспериментальное исследование структуры штрихов при термохимической лазерной записи в плёнках хрома 73
Структура элементов изображений на КЛЗС (элементарных дуг) 74
Структура экспериментальных изображений 80
Коррекция тангенциальной погрешности 87
Исследование топологии поверхности плёнок хрома при записи на КЛЗС 91
Глава 4. Измерение эффективности дифракционных оптических элементов 96
Постановка задачи 96
Обоснование сканирующего метода 97
Описание установки для измерения ДЭ 99
Проверка работоспособности метода сканирования для измерения ДЭ 105.
Дополнительные возможности аттестации ДОЭ методом сканирования 108
Экспериментальные результаты измерений ДЭ 113
Заключение 121
Список литературы
