Введение
Глава 1. Обзор литературы по методам синтеза углеродных структур и их формированию 11
1.1 Введение 11
1.2 Методы роста углеродных наностенок 12
1.2.1 Рост углеродных наностенок с помощью горячей нити 12
1.2.2 Плазмохимическое осаждение с помощью индуктивной- и емкостно-связанной плазмы 13
1.2.3 Рост углеродных наностенок с помощью СВЧ плазмы 16
1.2.4 Синтез углеродных наностенок в CVD реакторе 16
1.2.5 Плазмохимическое осаждение в разряде постоянного тока 17
1.2.6 Осаждение структур с помощью электрофореза. 17
1.3 Механизмы формирования углеродных наностенок, многослойных
нанотрубок и графена 18
ГЛАВА 2 Изготовление образцов и основные методы анализа структур 24
2.1 Экспериментальная установка 24
2.2 Методы обработки поверхности образцов 25
2.3 Характеристики получаемых структур 27
2.4 Исследование структур при помощи сканирующей электронной микроскопии 28
2.5 Анализ образцов с использованием просвечивающей электронной микроскопии 31
2.6 Рамановская спектроскопия 33
2.7 Практическое применение углеродных наностенок 35
2.8 Выводы к Главе 2 37
ГЛАВА 3 Эмиссионные характеристики пленок, полученных 2 на различных поверхностях и при различных условиях синтеза 38
3.1 Обзор литературы о существующих эмиссионных структур 38
3.1.1 Механизмы электронной эмиссии 38
3.1.2 Эмиссионные свойства неорганических веществ 40
3.1.3 Эмиссионные структуры на основе алмаза 42
3.1.4 Полевая эмиссия углеродных нанотрубок 44
3.1.5 Полевая эмиссия углеродных наностенок 45
3.2 Фотоэлектрохимическое структурирование кремния как новый метод подготовки поверхности для роста углеродных наностенок и исследование их характеристик 49
3.2.1 Введение 49
3.2.2 Экспериментальная часть 52
3.2.3 Обсуждение полученных результатов 54
3.2.4 Объяснение получаемых эмиссионных характеристик образцов 58
3.3 Эмиссионные характеристики пленок, полученных при различных температурах синтеза 61
3.3.1 Экспериментальная часть 61
3.3.2 Обсуждение результатов 62
3.4 Выводы к Главе 3 73
ГЛАВА 4 Оптические характеристики углеродных наностенок 75
4.1 Обзор литературы существующих антиотражающих покрытий. 75
4.2 Измерение оптических свойств углеродных наностенок 84
4.2.1 Введение 84
4.3 Экспериментальная часть 85
4.4 Изменение оптических свойств структур в зависимости от времени осаждения 87
4.4.1 Экспериментальная часть синтеза образцов разной толщины 87
4.4.2 Структурные характеристики образцов 88
4.4.3 Оптические характеристики 91
4.5 Синтез и исследование свойств углеродных наностенок различной морфологии 94
4.5.1 Экспериментальная часть синтеза пленок разной морфологии 94
4.5.2 Характеристики получаемых образцов 95
4.5.3 Оптические характеристики образцов разной морфологии 97
4.6 Влияние дефектности образцов на оптические свойства 100
4.7 Характеристики углеродных наностенок в ИК диапазоне 103
4.7 Выводы к Главе 4 106
Основные результаты работы 108
Список литературы 110
