Введение
1. Обзор литературы 11
Мелкие и глубокие примесные центры в кремнии 11
1.1 Волновая функция мелкого донорного центра 13
1.2. Донорные состояния под действием внешних и внутренних полей 17
1.3. Глубокие доноры как тензочувствительные центры в кремнии 28
1.4 Изотопические эффекты в спектроскопии электронного парамагнитного резонанса 39
2. Методика эксперимента 45
2.1. Спектроскопия электронного парамагнитного резонанса 45
2.2. Техника эксперимента 53
2.3. Характеристика исследованных образцов 59
2.4. Моделирование угловых зависимостей спектров с использованием полной матрицы спинового гамильтониана 62
2.5. Выводы к главе 2 65
3. Исследование орбитально-вырожденных электронных состояний мелкого донорного центра лития в изотопно-обогащенном кремнии .67
3.1. ЭПР спектроскопия центров Li и LiO в кремнии 70
3.2. Расчет угловых зависимостей спектров в приближении второго порядка теории возмущения 89
3.3. Расчет угловых зависимостей спектров с использованием полной матрицы спинового гамильтониана 96
3.4. Выводы к главе 3 100
4. Исследование вклада упругих полей в ширину линии донорного центра в кремнии 102
4.1. ЭПР спектроскопия центра Fe в кремнии, чувствительного к малым деформациям кристалла, связанными с упругими полями дефектов 103
4.2. Ширина линии ЭПР как функция распределения деформаций в кристалле 116
4.3. Выводы к главе 4 123
Заключение 125
Литература
