Введение
Глава 1. Обзор литературы 9
Глава 2. Термодинамический анализ процесса восстановления монооксида кремния 37
Глава 3. Описание экспериментального стенда, методика проведения эксперимента и обработки результатов 43
3.1 Описание экспериментального стенда 43
3.2 Методика обработки результатов эксперимента 49
Глава 4. Результаты экспериментов 52
Глава 5. Свойства разряда. Модель сублимации частиц монооксида кремния в разряде 57
5.1 Параметры дугового разряда 57
5.1.1 ВАХ разряда и его энергетические характеристики 57
5.1.2 Оценка параметров канала разряда 59
5.1.3 Оценка скорости нагрева газа и температуры стенки плазмотрона 64
5.1.4 Расчет скорости охлаждения газа в пробоотборнике 70
5.1.5 Оценка времени нахождения газа в плазмотроне и доли газа, проходящего через канал разряда 73
5.2 Модель течения газа в плазмотроне. Динамика течения частиц SiO в потоке 75
5.2.1 Модель течения и нагрева газа в плазмотроне 75
5.2.2 Динамика частиц SiO в потоке 78 \
5.3 Модель испарения частиц монооксида кремния в плазме дугового разряда 81
5.3.1. Расчет тепловых и диффузионных потоков 81
5.3.2. Распределение твёрдых частиц SiO по массам 94
5.3.3. Результаты расчета степени испарения частиц SiO в канале плазмотрона 95
5.4 Эксперимент со вдувом метана в постразрядную зону 97
Заключение 101
Литература
