Введение
1 Углеродные наноструктуры - графен и нанотрубки: получение, методы определения характеристик и интегрирования в электронные приборы (обзор литературы) 13
1.1 Методы получения графена и углеродных нанотрубок 13
1.1.1 Методы получения графена 13
1.1.2 Методы получения углеродных нанотрубок 16
1.2 Методы манипулирования и интегрирования углеродных наноструктур в электронные приборы .18
1.2.1 Диэлектрофорез .18
1.2.2 Метод Ленгмюра-Блоджетт 21
1.3 Методы определения характеристик графена и углеродных
нанотрубок 23
1.3.1 Оптическая и электронная микроскопия 23
1.3.2 Атомно-силовая микроскопия 25
1.3.3 Спектроскопия комбинационного рассеяния света (КРС)
1.3.3.1 КРС графена 27
1.3.3.2 КРС углеродных нанотрубок .32
2 Методы получения, подготовки и определения характеристик углеродных наноструктур 36
2.1 Получение и определение характеристик суспензий графена 36
2.2 Получение суспензий углеродных нанотрубок .56
2.3 Методы интегрирования углеродных наноструктур в электронные приборы
2.3.1 Метод формирования элементов на основе дискретных углеродных наноструктур 57
2.3.2 Метод формирования тонких пленок на основе массива углеродных наноструктур .61
2.4 Методы исследования качества и свойств полученных структур 64
2.4.1 Методы определения электрических характеристик 64
2.4.2 Методика определения электромеханических характеристик пленок из многослойного графена. 68
2.4.3 Оптическая и электронная микроскопия .71
2.4.4 Атомно-силовая микроскопия 72
2.4.5 Спектроскопия комбинационного рассеяния .73
2.5. Выводы к главе 2 76
3 Результаты исследований свойств полученных структур 77
3.1 Электрические свойства 77
3.1.1 Одиночные углеродные наноструктуры: углеродные нанотрубки и пластины графена .77
3.1.2 Пленки из многослойного графена .84
3.2 Термические свойства (одиночные углеродные наноструктуры) 90
3.3 Электромеханические свойства (пленки из многослойного графена) 98
3.4 Исследование кристаллической структуры одиночных пластин многослойного графена 102
3.5 Оптические свойства пленок из многослойного графена .107
3.6 Выводы к главе 3 109
4 Роль микро- (нано)контактов и особенности их формирования .110
4.1 Способы/подходы определения качества контактов 110
4.2 Отжиг (локальный, интегральный) как метод улучшения микро-(нано)контактов .
4.2.1 Контакт графен/подложка (металл, диоксид кремния) 115
4.2.2 Контакты углеродная нанотрубка/подложка (металл), углеродная нанотрубка/углеродная нанотрубка .120
4.3 Выводы к главе 4 .123
5 Создание приборов на основе углеродных наноструктур 124
5.1 Приборы на основе дискретных углеродных наноструктур 124
5.2 Прибор на основе пленок из многослойного графена .125
5.3 Выводы к главе 5 .132
Заключение .133
Благодарности 135
Список основных сокращений и обозначений 136
Список публикаций автора по теме диссертации .138
Список цитированной литературы .
