Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов
Лапин Владимир Григорьевич. Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Лапин Владимир Григорьевич; [Место защиты: Науч.-производ. предприятие "Исток"].- Фрязино, 2009.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/3477
