Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства
Вотинцева, Елена Евгеньевна. Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 119 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/265-9
