Получение слоев металлов и полупроводников сублимацией в ультратонком вакуумном промежутке
Плющев, Дмитрий Юрьевич. Получение слоев металлов и полупроводников сублимацией в ультратонком вакуумном промежутке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Новочеркасск, 2000.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/3029-3