Исследование свойств и закономерностей формирования массивов металлических наночастиц одно- и двухкомпонентных систем методом вакуум-термического испарения
Савицкий Андрей Иванович. Исследование свойств и закономерностей формирования массивов металлических наночастиц одно- и двухкомпонентных систем методом вакуум-термического испарения: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Савицкий Андрей Иванович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»], 2019.- 153 с.