Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы
Мучников, Анатолий Борисович. Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Мучников Анатолий Борисович; [Место защиты: Ин-т прикладной физики РАН].- Нижний Новгород, 2013.- 24 с.: ил. РГБ ОД,
