Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния
Митченко Иван Сергеевич. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2008.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/353