Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций
Фадеев, Алексей Юрьевич. Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Фадеев Алексей Юрьевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2013.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/2602