Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ
Сысоев Андрей Александрович. Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Санкт-Петербург, 2001.- 110 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/2583-7
