Введение
ГЛАВА 1. Физические процессы в катодном слое тлеющего разряда и их математические модели (обзор литературы) 10
1.1. Межчастичные взаимодействия и их макроскопическое описание 10
1.2. Электрические и тепловые процессы 15
1.3. Эмиссия электронов с поверхности катода 19
1.4. Энергетические спектры ионов и атомов у поверхности катода 22
1.5. Распыление поверхности катода ионами и быстрыми атомами 26
Выводы к главе 1 30
ГЛАВА 2. Моделирование влияния диэлектрической пленки на поверхности катода на его взаимодействие с плазмой тлеющего разряда 31
2.1. Модель катодного слоя разряда при наличии тонкой диэлектрической пленки на поверхности катода 32
2.2. Алгоритм решения системы уравнений для характеристик катодного слоя разряда 35
2.3. Энергетические спектры ионов и быстрых атомов у поверхности катода и эффективный коэффициент его распыления в разряде 37
2.4. Расчет характеристик катодного слоя разряда и процесса распыления катода с поверхностной диэлектрической пленкой 40
Выводы к главе 2 47
ГЛАВА 3. Расчет динамики разогрева катода с диэлектрической пленкой в тлеющем разряде 48
3.1. Модель катодного слоя разряда, учитывающая нагрев катода, при наличии тонкой диэлектрической пленки на его поверхности 49
3.2. Алгоритм решения системы уравнений для характеристик катодного слоя разряда при учете нагрева катода 52 Стр.
3.3. Расчет нагрева катода в тлеющем разряде при наличии тонкой диэлектрической пленки на его поверхности 54
Выводы к главе 3 61
ГЛАВА 4. Моделирование влияния поверхностного рельефа катода на его распыление в тлеющем разряде 63
4.1. Функции распределения по энергии потоков ионов и быстрых атомов у поверхности электрода с периодическим поверхностным рельефом 64
4.2. Плотности потоков ионов и быстрых атомов у поверхности катода 71
4.3. Плотность потока вещества, распыляемого с катода ионами, и усредненный по энергиям ионов коэффициент распыления его поверхности 74
4.4. Плотность потока вещества, распыляемого с катода быстрыми атомами, и эффективный коэффициент распыления его поверхности 76
4.5. Зависимость неоднородности эффективного коэффициента распыления и потоков частиц у поверхности катода от параметров его
рельефа и характеристик разряда 82
Выводы к главе 4 90
ГЛАВА 5. Расчет распыления катода с диэлектрической пленкой неравномерной толщины в тлеющем разряде 92
5.1. Модель катодного слоя разряда при наличии на поверхности катода диэлектрической пленки переменной толщины 93
5.2. Плотность потока ионов у поверхности катода и эффективный коэффициент его распыления 95
5.3. Зависимость неоднородности эффективного коэффициента распыления и потоков частиц у поверхности катода от параметров
диэлектрической пленки и характеристик разряда 98
Выводы к главе 5 103
Основные результаты работы 104
Список литературы
