Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации
Болесов Игорь Анатольевич. Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 128 c. РГБ ОД, 61:04-5/1835