Введение
1 Состояние разработок емкостных МЭМС-датчиков и измерительных цепей для них 12
1.1 Состояние разработок емкостных МЭМС-датчиков. 12
Дифференциальный кремниевый микроконденсатор - основной элемент конструкции МЭМС-датчика
1.2 Основные проблемы развития емкостных МЭМС-датчиков и измерительных цепей для них 18
1.3 Измерительные цепи МЭМС-датчиков 22
1.4 Приоритетные направления совершенствования емкостных МЭМС-датчиков 29
Выводы и задачи дальнейших исследований 34
2 Исследование конструктивно-технологических методов повышения стабильности измерительных цепей емкостных МЭМС-датчиков 35
2.1 Исследование технологических проблем совершенствования емкостных МЭМС-датчиков 35
2.2 Исследования температурно-деформационной нестабильности смещения нуля измерительных цепей емкостных МЭМС-датчиков 41
2.3 Исследование механизмов влияния полупроводниковых свойств кремния на нестабильность емкостных МЭМС-датчиков 48
2.4 Исследование возможности оптимизации выбора известных измерительных цепей для построения высокостабильных емкостных МЭМС-датчиков 66
Выводы 75
3 Исследование возможности повышения стабильности емкостных МЭМС-датчиков за счет реализации измерительных цепей на основе схем импульсного уравновешивания 76
3.1 Исследование возможности повышения стабильности емкостных МЭМС-датчиков за счет построения измерительной цепи на основе схемы с импульсным уравновешиванием зарядов 76
3.2 Исследование возможности повышения стабильности емкостных МЭМС-датчиков за счет реализации измерительной цепи на основе схем импульсного уравновешивания сил 86
3.3 Исследование и разработка методов стабилизации зарядового состояния в дифференциальном кремниевом микроконденсаторе МЭМС-датчика 96
Выводы 105
4 Экспериментальные исследования разработанных МЭМС-акселерометров на основе реализации режимов импульсного уравновешивания в измерительных цепях 106
4.1 МЭМС-акселерометр с измерительной цепью на основе схемы с импульсным уравновешиванием зарядов 106
4.2 МЭМС-акселерометр с измерительной цепью на основе импульсного уравновешивания 117
4.3 Экспериментальные исследования уровня собственных шумов разработанных МЭМС-акселерометров 121
4.4 Метрологическое обеспечение экспериментальных исследований 126
Выводы 130
Заключение 131
Список использованных источников 133
Приложение А - Акты внедрения результатов работы 144
