Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
Ветошкин Владимир Михайлович. Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01 / Ветошкин Владимир Михайлович; [Место защиты: Удмурт. гос. ун-т].- Ижевск, 2009.- 142 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/994
