Введение
Глава 1. Исследование механизма выделения газов из металлов 11
1.1 Обзор методов определения механизма газовыделения 11
1.1.1 Определение механизма газовыделения из анализа кривых газовыделения 11
1.1.2 Определение механизма газовыделения из анализа коэффициентов диффузии 13
1.1.3 Определение механизма выделения газов по анализу десорбционных кривых 14
1.2 Экспериментальный комплекс 16
1.2.1 Методика обработки спектрограмм 18
1.2.2 Методика количественной градуировки омегатрона 18
1.2.3 Расч ет согласо вания времен индикации потока 20
1.2.4 Метод накопления при анализе газовыделения 21
1.2.5 Методика расшифровки спектра масс 23
1.3 Определение механизма выделения газов из элементов вакуумной
системы 24
1.3.1 Исследование спектров общего газовыделения из стальной электродной проволоки 24
1.3.2 Исследование механизма выделения кислорода из стальной электродной проволоки 25
1.3.3 Измерения газовыделения из электродной проволоки в процессе
вакуумного отжига 27
1.3.4 Анализ газовыделения на переменных скоростях нагрева 28
Глава 2. Исследование формирования защитных пленочных покрытий при обработке длинномерных электротехнических материалов 32
2.1 Визуализация потока пара 32
2.2 Анализ способов управления формированием толщины пленки 35
2.2.1 Параметрическое управление потоком пара 35
2.2.2 Общая схема параметрического управления потоком пара 38
2.2.3 Геометрическое управление потоком пара 39
2.2.4 Исследование управления потоком пара с помощью электронного
пучка 41 2.3 Анализ газофазных реакций при формировании пленок 44
2.3.1 Фазовая диаграмма и изобарный потенциал 45
2.3.2 Моделирование формирования защитного покрытия на электротехническо м материале при обмене газа 46
Глава 3. Исследование условий уменьшения потребляемой мощности для ввода длинномерных материалов из атмосферы в вакуум и вывода из вакуума в атмосферу 51
3.1 Суть проблемы 51
3.2 Анализ течения газа в устройстве ввода/вывода проволоки
3.2.1 Визуализация течения потока газа в устройстве для обработки проволоки 53
3.2.2 Влияние параметров устройства ввода/вывода на давление в камере обработки 55
3.2.3 Зависимость давления в плазменной камере от формы выводных элементов 57
3.2.4 Устройства вывода с отклонением газового потока 59
3.2.5 Устройство вывода с дополнительной подачей газа 61
3.2.6 Предельные возможности повышения перепада давления за счет усложнения формы элементов 63
3.3 Электрофизические способы создания перепада давления 64
3.3.1 Предельные возможности создания перепада давления с помощью газодинамических эффектов 64
3.3.2 Исследование влияния разряда на расход газа в устройство ввода/вывода 66
3.3.3 Стационарный дуговой разряд между элементами 67
3.3.4 Откачивающее действие разряда 67
3.4 Устройства ввода/вывода с виртуальными элементами 68
3.5 Выводы по электрофизическим способам повышения эффективности выводных устройств 70
Глава 4. Конструирование устройств для обработки материалов 71
4.1 Рекомендации по расчету и согласованию устройств для поточной обработки электротехнических материалов 71
4.1.1 Расчет потребляемой мощности 71
4.1.2 Согласование по необходимой производительности откачных средств 72
4.1.3 Графоаналитический расчет устройства для ввода/вывода проволок 73
4.1.4. Согласование передаточных характеристик устройства для вывода с работой вакуумных насосов 76
4.1.5 Согласование вольтамперной и управляющей характеристик 76
4.1.6 Защита системы с выводом длинномерных электротехнических материалов от электрических пробоев 78
4.1.7 Согласование системы по обрабатываемым материалам 78
4.2 Схемы устройств для поточной обработки проволок 79
4.2.1 Устройство для обработки проволочных материалов 79
4.2.2 Устройство с камерой ионной очистки и камерой плазменного нагревателя 82
4.2.3 Устройство для очистки толстых проволок в импульсном дуговом разряде 84
4.2.4 Устройство для очистки отжига «столбовой» проволоки типа «ракушка» 85
4.2.5 Устройство для отжига проволочных испарителей с магнитным полем и плазменным контактом 87
4.2.6 Устройство для поточного отжига электродной проволоки между разнесенными плазменными контактами 88
4.3 Схемы устройств для формирования пленок 90
4.3.1 Устройство для поточного алюминирования полиэтиленовых пленок 90
4.3.2 Устройство для поточного алюминирования проволочных материалов 92
4.3.3 Трехканальная испарительная ячейка для молекулярно-лучевой эпитаксии 94
4.3.4 Устройство для цинкования длинномерных материалов 95
4.3.5 Устройства для переработки полимеров и формирования полимерных покрытий 96
4.4 Устройства для травления многокомпонентных диэлектрических материалов 98
4.4.1 Устройство для ионной обработки широкоапертурных диэлектриков 99
4.4.2 Устройство для травления высокоомных материалов 102
Заключение 107
Список литературы
