Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоаморфных РНЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта-легированием
Климова Евгения Александровича. Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоаморфных РНЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта-легированием: автореферат дис. ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Климова Евгения Александровича;[Место защиты: Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2012.- 18 с.