Электрофизические свойства структур кремний-на-изоляторе, изготовленных методом сращивания и водородного расслоения
Николаев Данил Валериевич. Электрофизические свойства структур кремний-на-изоляторе, изготовленных методом сращивания и водородного расслоения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Николаев Данил Валериевич; [Место защиты: Ин-т физики полупроводников СО РАН].- Новосибирск, 2010.- 130 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/878