Введение
ГЛАВА 1. Анализ состояния вопроса. цель и задачи исследования 11
1.1. Анализ объекта исследования 11
1.2. Классификация микрообъектов и изделий 13
1.3. Анализ методов микроформообразования 19
1.3.1. Механические методы микроформообразования 20
1.3.2. Термомеханические методы микроформообразования 23
1.3.3. Лазерное микроформообразование 24
1.3.4. Ультразвуковое микроформообразование 26
1.3.5. Электроэрозионная микрообработка 28
1.3.6. Химическое микроформообразование 30
1.3.7. Электрохимическое микроформообразование 31
1.4. Анализ путей повышения точности электрохимического микроформообразования 36
1.5. Выводы по главе 1. Цель и задачи исследования 49
ГЛАВА 2. Теоретические исследования электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 51
2.1. Определение коэффициента локализации на основе огибающих кривых по максимумам импульсов тока в пакете 51
2.2. Разработка математической модели процесса электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 55
2.2.1. Анализ влияния нагрева электролита на электрохимическое микроформообразование 56
2.2.2. Анализ влияния газонаполнения зашламления межэлектродного промежутка на электрохимическое формообразование 60
2.3. Выводы по главе 2 78
ГЛАВА 3. Разработка технологического обеспечения для электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 79
3.1. Разработка системы перемещения и позиционирования 80
электрода–инструмента 80
3.2. Выбор 3-координатного стола подходящей конфигурации 82
3.3. Выбор линейного позиционера высокой точности 85
3.4. Проектирование и изготовление электрододержателя 87
3.5. Проектирование и изготовление электродов–инструментов и тестовых образцов 89
3.6. Разработка системы энергообеспечения электрохимической ячейки 91
3.7. Разработка системы автоматического управления и синхронизации экспериментальной электрохимической установки 101
3.8. Выводы по главе 3 109
ГЛАВА 4. Экспериментальные исследования электрохимического микроформообразования на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 111
4.1. Комплексная методика проведения экспериментальных исследований для изучения ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 111
4.1.1. Разработка методики получения, оцифровки и анализа осциллограмм пакетов импульсов тока при ЭХМФО 112
4.1.2. Разработка методики ЭХМФО, с последующим анализом точностных характеристик полученных полостей 115
4.1.3. Разработка методики получения мультиплицированных полостей и геометрических элементов поверхности 118
4.2. Исследование ЭХМФО на сверхмалых зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 119
4.2.1. Исследования формы пакетов импульсов тока, протекающего в электрохимической ячейке и огибающих кривых 120
4.2.2. Исследование электрохимического микроформообразования на сверхмалых межэлектродных зазорах с применением пакетов микросекундных импульсов напряжения 132
4.3. Выводы по главе 4 148
Общие выводы 150
Список литературы
