Введение
ГЛАВА I. Инъекция электронов в Si02 и их перенос в сильном электрическом поле 11
I. Проводимость системы Si-Si02 -металл в сильных электрических полях 11 2. Особенности электролитического контакта. 14
3. Методика эксперимента.. 18
4--. Особенности проводимости системы Si-Si02-
электролит в сильных электрических ПОЛЯХ. 22 5. Ударная ионизация в структурах Si-Si02# 28 ГЛАВА II. Электролюминесценция в структурах Si-Si02. Механизмы возбуждения . . 38
1. Люминесцентные методы исследования струк тур Si-Si02 - . 38
2. Методика определения спектрального состава электролюминесценции системы Si-Si02
-электролит. . . г 42
3. Влияние интерферениции на спектр люминес-т
ценции тонких диэлектрических слоев 50.
4. Механизмы возбуждения электролюминесценции
в системе Si-Si02 ^-электролит. . . . . . . 56
5. Взаимосвязь между механизмом возбуждения электролюминесценции и особенностями проводимости диэлектрика*. . . . . s.72
ГЛАВА III. Электролюминесценция в структурах Si-Si02. Характеристики центров свечения 79
1. Зависимость интенсивности спектральных полос электролюминесценции от способа формирования структур Si-Si02 79
2. Характеристики центров люминесценции в полосе 1,9 эВ. . 83
3;. Характеристики центров свечения в полосе 2,2 эВ. . . . ;. . 91
4, Характеристики центров люминесценции в полосе 2,7 эВ. 94
5;# Использование электролюминесценции для изучения процессов термического и анодного окисления кремния 101
ГЛАВА ІV. Использование электролюминесценции для изучения изменений свойств структур в сильных электрических ПОЛЯХ. . . . . . 114
I Основные результаты исследования полевой деградации структур Si~Si02 (по лите ратурным данным) . 114
2. Изменение зарядового состояния структур Si-Si02 в сильных электрических полях. 117
3і. Изменение проводимости и спектра электролюминесценции Структур Si-SiOg в сильных
электрических ПОЛЯХ, .о 123
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ . ;. . 140
УКАЗАТЕЛЬ ЛИТЕРАТУРЫ 143
