Введение
Обзор существующих методов и устройств для измерения перемещения
Физические эффекты, применяемые для измерения перемещения
Обзор методов измерения угловых перемещений и их произволных
Выводы 32
Разработка электронных блоков для интегральных датчиков
Генераторный емкостный датчик перемещений 34
Емкостный преобразователь перемещений 39
Синхронный детектор в составе емкостного преобразователя перемещений
Магнитоэлектрический преобразователь силы (момента) 59
Выводы 63
Анализ свойств компонентов электронного блока и методика вероятностной оценки по грешностей интегральных датчиков
О фильтрующих свойствах синхронной модуляции - демодуляции
Вероятностная оценка погрешностей электронных схем на примере интегрального акселерометра
Анализ применимости фильтров низких частот в микроэлектромеханических системах
Выводы 83
Экспериментальные исследования электронных блоков
4.1. Методика компьютерной обработки результатов испытаний 84 интегральных акселерометров
4.2. Результаты экспериментальных исследований 89
Выводы 110
Список принятых обозначений 111
Заключение 113
Литература
