Эллипсометрические и спектрофотометрические методы исследования и контроля оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники
Данилова, Татьяна Михайловна. Эллипсометрические и спектрофотометрические методы исследования и контроля оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Данилова Татьяна Михайловна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2011.- 159 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/553
