Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками
Новиков Александр Александрович. Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2008.- 237 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/668
