Введение
1.1 Распыление твердых тел под воздействием пучков ускоренных ионов и кластеров 5
1.2 Существующие методы исследования распыления и их применимость для описания линейного и нелинейного распыления 11
1.3 Метод молекулярной динамики. обзор результатов по нелинейному распылению полученных с помощью молекулярной динамики 17
1.4 Потенциалы межатомного взаимодействия, используемые для моделирования распыления с помощью мд 27
1.5 Модели учета взаимодействий атомов с электр01ii гой подсистемой в рамках мд 35
1.6 Возможность моделирования посткаскадных процессов на больших временах. 39
1.7 Формулировка наиболее актуальных проблем в физике взаимодействия нанокластеров с поверхностью исходя из обзора совремипюго состояния в данной
области. 45
1.8 Постановка задачи для диссертации, общая характеристика работы 46
1.9 Положения диссертационной работы, выносимые на защиту 53
2 Физические основы и методика моделирования процессов эрозии поверхности „ 54
2.1 Потенциалы межатомного взаимодействия 54
2.2 Модели учета взаимодействий атома с электронной подсистемой мишени 61
2.2.1 Электронное торможение. 61
2.2.2 Электрон-фононное взаимодействие 63
2.3 Особенности используемого алгоритма мд 64
2.4 Методика моделирования 68
2.4.1 Характеристики каскада соударений и теплового пика 68
2.4.2 Распыление 69
2.4.3 Образование дефектов 70
2.4.4 Структура поверхности 71
Метод монте-карло для моделирования долговременной эволюции микроструктуры облученной мишени
2.6 Вывод по главе 2 76
3 Моделирование ионного распыления металлов и сплавов ..77
3.1 Коэффициенты распыления : 77
3.2 Энергетические и угловые спектры эмиссии 80
3.3 Преимущественное распьшеї гит- 81
3.4 Вывод по главез 83
4 Исследование каскадных процессов в металлах под воздействием многоатомных кластеров 88
4.1 Особенности каскадных процессов вызванных ионной и кластерной бомбардировкой 88
4.2 Распределение пробегов и энергетические потери внедренных атомов 90
4.3 Энергетические и временные характеристики каскада соударений ,94
4.4 Вывод по главе4 97
5 Исследование процессов распыления металлов при кластерной бомбардировке 105
5.1 Коэффициипы распыления 105
5.2 Временные спектры вторичной эмиссии. 108
5.3 Энергетические и угловые спектры эмиссии 111
5.4 Преимуществешое распыление 112
5.5 Вывод по ГЛАВЕ5 ИЗ
6 Исследование эволюции микрорельефа поверхности и первичного дефектообрлзования при кластерной бомбардировке 124
6.1 Особенности микрорельефа поверхности, формируемого при кластерной бомбардировке 124
6.1.1 Временная эволюция морфологии поверхности 124
6.1.2 Количественные характеристики кратерообразования: зависимость от размера налетающего кластера 125
6.1.3 Количественные характеристики кратерообразования: зависимость от энергии налетающего кластера 129
6.2 Процессы первичного дефектообразовапия ; 130
6.3 Эволюция микроструктуры поверхности на больших временах 135
6.4 Вывод по главеб 137
7 Заключение „ 152
7.1 Основные результаты и выводы 152
8 Список цитированной литературы
