Введение
Глава 1. Анализ тенденций развития высоковольтных генераторов нано- и субнаносекундных импульсов напряжения
1.1. Методы генерации высоковольтных нано- и субнаносекундных импульсов напряжения .8
1.2. Полупроводниковые размыкатели тока .11
1.3. Преимущества карбидокремниевых размыкателей тока .20
1.4. Выводы и постановка задач .27
Глава 2. Разработка карбидокремниевых размыкателей тока
2.1. Разработка структуры SiC-ДДРВ. Основные уравнения 28
2.2. Разработка модели SiC-ДДРВ. Основные уравнения 33
2.3 Оптимизация структуры карбидокремниевого ДДРВ в TCAD Synopsys .40
2.3.1. Исследование карбидокремниевой диодной структуры, рассчитанной на переключение 1,8 кВ. Выбор профиля легирования 42
2.3.2. Влияние физических эффектов на процесс переключения ДДРВ на 1,8 кВ 48
2.3.3. Разработка карбидокремниевой диодной структуры, рассчитанной на переключение 1 кВ .55
2.3.4. Исследование карбидокремниевого ДДРВ на 1кВ в одноконтурной схеме 58
2.4. Технологические этапы изготовления карбидокремниевых дрейфовых диодов с резким восстановлением .60
Глава 3. Экспериментальное исследование карбидокремниевых дрейфовых диодов с резким восстановлением
3.1. Анализ статических характеристик SiC-ДДРВ .63
3.2. Исследование динамических характеристик SiC-ДДРВ 74
3.3. Исследование температурной зависимости времени жизни неравновесных носителей заряда в SiC-ДДРВ .84
3.4. Исследование эффективности генератора импульсов на основе SiC-ДДРВ .88 Выводы по главе .93
Глава 4. Разработка генераторов субнаносекундных импульсов напряжения на основе SiC-ДДРВ
4.1. Разработка генератора на одиночном SiC-ДДРВ 95
4.2. Разработка мощных генераторов на основе SiC-ДДРВ .101
4.2.1. Разработка методики разбраковки диодных структур для создания высоковольтных карбидокремниевых сборок 103
4.2.2. Разработка технологии создания высоковольтных диодных сборок на основе SiC-ДДРВ 108
4.2.3. Анализ статических и динамических характеристик высоковольтных сборок на основе SiC-ДДРВ .111
4.2.4. Высоковольтный генератор на основе последовательной компрессии энергии карбидокремниевыми ДДРВ-каскадами .115
4.2.5. Высоковольтный генератор на основе кремниевого и карбидокремниевого ДДРВ-каскадов .119
Выводы по главе 127
Заключение .128
Список принятых сокращений и обозначений .129
Литература
