Введение
Глава 1. Обзор литературы 13
1.1 Контакт металл-полупроводник 13
1.1.1 Омический контакт, барьер Шоттки 13
1.1.2 Высота барьера Шоттки 15
1.2 Омические контакты к эпитаксиальным слоям твердых растворов AlxGa1-xN 18
1.3 Фоточувствительные структуры на основе широкозонных полупроводников 27
1.3.1 Особенности фоточувствительных структур для УФ-диапазона спектра 27
1.3.2 Фоточувствительные структуры на основе полупроводниковых твердых растворов AlxGa1-xNи алмаза 29
1.3.3 Фоточувствительные структуры на основе барьера Шоттки металл-GaAs1-xPx 42
1.3.4 Области применения фоточувствительных структур на основе широкозонных полупроводников 44
1.4 Выводы по главе 1 46
Глава 2. Установки для создания структур и исследования их характеристик
2.1 Вакуумная установка для формирования фоточувствительных структур металл - полупроводник и ее модернизация 54
2.2 Установка для исследования спектров фоточувствительных структур и ее модернизация
2.3 Установка для измерения электрических характеристик структур и ее автоматизация
2.4 Выводы по главе 2 з
Глава 3. Разработка технологии создания омических контактов к широкозонным полупроводникам: AlxGa1-xN, CVD алмаз 58
3.1 Технология создания Al омических контактов к эпитаксиальным слоям n-AlxGa1-xN 58
3.2 Технология создания Ti/Al омических контактов к эпитаксиальным слоям n-AlxGa1-xN 60
3.4 Выводы по главе 3 71
Глава 4. Фоточувствительные структуры металл-широкозонный полупроводник 73
4.1 Технология создания фоточувствительных структур на основе AlxGa1-xN 73
4.2 Исследования свойств барьеров Шоттки к n-AlxGa1-xN 76
4.3 Влияние технологических факторов на характеристики фоточувствительных структур на основе AlxGa1-xN 78
4.4 Фоточувствительные структуры с барьером Шоттки Ag-AlxGa1-xN 89
4.5 Фоточувствительные структуры с барьером Шоттки Au-AlxGa1-xN 93
4.6 Исследование свойств барьеров Шоттки к p-CVD алмазу 103
4.7 Выводы по главе 4 110
Глава 5. Исследование свойств фоточувствительных структур Ag-GaAs1-xPx 112
5.1 Технология создания фоточувствительных структур Ag-GaAs1-xPx 112
5.2 Характеристики и параметры фоточувствительных структур Ag-GaAs1-xPx 113
5.3 Высота барьера Шоттки Ag-GaAs1-xPx 118
5.4 Выводы по главе 5 120
Заключение 122
Список литературы
