Введение
1 Общая схема моделирования движений электронов методом Монте–Карло 13
1.1 Множественная модель рассеяния 15
1.2 Модель непрерывного замедления 20
Выводы по главе 22
2 Моделирование упругих соударений электронов с атомами 25
2.1 Упругое рассеяние по теории Мотта 25
2.2 Моделирование с использованием модифицированной по Мотту формулы Резерфорда–Бете 26
Выводы по главе 31
3 Моделирование неупругих соударений электронов с атомами по теории Гризинского 33
3.1 Формула Гризинского 33
3.2 Сравнение с расчетом по экспериментально измеренной диэлектрической функции потерь 47
3.3 Угловое распределение дифференциального сечения неупругого рассеяния по теории Гризинского 50
3.4 Моделирование движения электронов методом Монте–Карло с учетом теории Гризинского 51
Выводы по главе 54
4 Моделирование неупругих соударений электронов с атомами с использованием модифицированной формулы Бете 55
4.1 Аналитическая аппроксимация средней энергии возбуждения на основе модели атома Томаса–Ферми 55
4.1.1 Введение 55
4.1.2 Общие положения 56
4.1.3 Оценка средней энергии возбуждения методом Томаса–Ферми 58
4.2 Аналитическая формула тормозной способности Бетес эффективным атомным номером и эффективным ионизационным потенциалом 64
4.2.1 Экстраполяция формулы Бете на область малых и средних энергий электронов 64
4.2.2 Вычисление эффективного числа взаимодействующих электронов и средней энергии ионизации 66
Выводы по главе 73
5 Решение задач о прохождении электронов через вещество методом Монте–Карло 74
5.1 Вероятность выхода электронов из поверхности образцов 75
5.1.1 Модель и алгоритм 75
5.1.2 Результаты 76
5.2 Интегральная функция выхода для электронов 80
5.2.1 Модель и алгоритм 80
5.2.2 Сравнение с экспериментальными данными 81
5.3 Коэффициент обратного рассеяния и энергетический спектр
обратного рассеяния электронов 82
5.3.1 Модель и алгоритм 82
5.3.2 Сравнение с экспериментальными данными 87
Выводы по главе 92
Заключение 94
Список используемых источников
