Введение
I. Анализ состояния вопроса. анализ объекта исследования. постановка задачи исследования 11
1.1 Методы получения поверхностных элементов 12
1.1.1 Механические методы формирования поверхностных элементов на плоских поверхностях деталей 13
1.1.2 Методы формирования поверхностных элементов с использованием лазерного излучения 14
1.1.3 Химические и электрохимические методы формирования поверхностных элементов 14
1.1.4 Методы формирования с использованием масок на основе бумажных и полимерных защитных материалов 15
1.1.5 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе фоторезистивных материалов 19
1.2 Сравнение методов формирования поверхностных элементов 21
1.3 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе лакокрасочных и порошковых покрытий 22
1.4 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующей полимеризацией по заданной программе или готовой маске 23
1.5 Методы формирования поверхностных элементов с масками на основе порошковых красок с их последующим испарением по заданной программе 25
1.6 Обзор методов и оборудования для формирования диэлектрических поверхностных слоев 26
1.6.1 Методы формирования однородной полимерной композиции с применением порошковых красок 27
1.6.2 Методы формирования защитной маски воздействием лазерного излучения на полимерную пленку 32
1.7 Выводы по главе 36
II. Теоретические исследования особенностей формирования поверхностных элементов с предварительным формированием масок 38
2.1 Математическая модель распределение тепловых полей в тонкопленочном диэлектрическом слое 39
2.2 Анализ результатов математического моделирования 49
2.3 Электрохимическое формообразование поверхностных элементов с использованием защитных масок произвольной геометрии 58
2.4 Выводы по главе 60
III. Экспериментальные исследования формирования поверхностных элементов на плоских и фасонных поверхностях - 62
3.1 Разработка методик проведения экспериментальных работ 63
3.2Экспериментальные исследования процесса формирования равнотолщинного диэлектрического слоя методом электростатического напыления полимерных композиций 64
3.2.1 Методика экспериментальных исследований процесса формирования равнотолщинного диэлектрического слоя 65
3.2.2 Экспериментальное оборудование 68
3.2.3 Результаты экспериментальных исследований 69
З.ЗЭкспериментальные исследования процесса формирования защитных масок в диэлектрических слоях на неплоских поверхностях 70
3.3.1 Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок 70
3.3.2 Результаты экспериментальных исследований 73
3.4Методика экспериментальных исследований процесса формирования защитных масок с использованием трафаретных предмасок 73
3.5Экспериментальные исследования процесса анодного растворения материала с использованием защитных масок 78
3.5.1 Методика экспериментальных исследований процесса анодного растворения 79
3.5.2 Экспериментальное оборудование 82
3.5.3 Результаты экспериментальных исследований 83
3.5.4 Анализ параметров сформированных поверхностных элементов на различных поверхностях 84
З.бМетодика проведения экспериментальных исследований процессов глубокого анодного растворения с использованием защитных масок 91
3.6.1 Методика исследования процесса глубокого анодного 91
3.6.2 Экспериментальное оборудование 94
3.6.3 Результаты экспериментальных исследований 95
3.1.Выводы по главе 97
IV. Разработка и внедрение технологий и оборудования для формирования поверхностных элементов на плоских и фасонных поверхностях 98
4.1 Технологическая установка ЛУФМ-1 98
4.1.1 Механизм слежения за эквидистантностью к поверхности 100
4.1.2 Блок накачки лазерного диода 100
4.1.3 Система сопряжения стоек ЧПУ с современными вычислительными комплексами 102
4.1.4 Специфика написания программного обеспечения для управления стойками ЧПУ современными вычислительными комплексами 106
4.2 Экспериментальная установка для процесса глубокого анодного растворения 110
4.3 Разработка технологического регламента формирования поверхностных элементов с использованием трафаретных предмасок 113
4.4 Разработка технологического регламента формирования поверхностных элементов с использованием процесса припекания защитного слоя 117
4.5 Выводы по главе 119
Общие выводы 120
Библиография
