Введение
2. Литературный обзор 8
2.1. Методы получения аморфных состояний 8
2.2. Структура тонких аморфных пленок 9
2.3. Фазовые переходы аморфная фаза - кристалл в тонких пленках 13
2.4. Плотность аморфных пленок 17
2.5. Электрические свойства тонких пленок 18
2.6. Температурный коэффициент сопротивления тонких пленок 24
2.7. Теплопроводность тонких пленок . 30
2.8. О законе Видемана - Франца в тонких пленках металлов 36
2.9. Заключение и постановка работы . 39
3. Экспериментальные методики получения и исследования тонких пленок 41
3.1. Сверзвысоковакуумная установка . 41
3.2. Вакуумная установка с комбинированными средетавми откачки 44
3.3. Условия препарирования объектов . 45
3.4. Методики исследования структуры и кинетики фазовых превращений 49
3.5. Методика измерения электросопротивления и его температурной зависимости в исследуемых образцах 52
3.6. Методика исследования теплопроводности тонких пленок 53
3.7. Методика определения параметров структуры ближнего порядка по функции радиального распределения 58
4. Структура тонких пленок рения 62
4.1. Аморфные пленки рения 62
4.2. Кристаллические пленки 78
4.3. Электронномикроскопические исследования структуры и фазовых превращений в тонких пленках рения 82
5. Электрические свойства тонких пленок рения 91
5.1. Проводимость аморфных пленок 91
5.2. Электрические свойства кристаллических пленок 99
5.3. Температурный коэффициент сопротивления тонких пленок рения 116
6. Теплофизическйе свойства тонких пленок рения 120
6.1. Теплопроводность тонких пленок рения 120
6.2. Зависимость теплопроводности тонких пленокрения от температуры 122
6.3. О законе Видемана - Франца в тонких пленках рения 123
7. Выводы 131
Литература
