Введение
Глава 1 Методы управления диаметром слитка, выращиваемого по способу «Чохральского» 8
1.1 Оптические способы управления диаметром 8
1.2 Весовой способ управления диаметром 14
1.3 Косвенные способы управления диаметром 17
Глава 2 Общая математическая модель «контактного метода» определения площади выращиваемых слитков 21
2.1 Описание «контактного метода» замера текущей площади, выращиваемых слитков 21
2.2 Статическая математическая модель «контактного метода» 23
2.3 Анализ влияния аналогового привода подъема тигля в «контактном методе» 32 CLASS Глава 3 Определение точностных характеристик «контактного метода» 34 CLASS
3.1 Определение основной ошибки в сигнале управления 34
3.2 Задание периода оценки сигнала управления 35
3.3 Определение рабочих параметров настройки «контактного метода» 36
3.4 Анализ ошибки в сигнале управления на конусной части слитка 38
3.5 Анализ ошибки в сигнале управления, за счет изменения высоты столбика мениска над расплавом 40
Глава 4 Система автоматического управления выращиванием монокристаллов германия на базе «контактного метода» с полной остановкой подъема тигля в моменты замыкания контактного датчика 44
4.1 Описание системы управления, с полной остановкой подъема тигля, в моменты замыкания контактного датчика 44
4.2 Алгоритмы и графики работы системы управления, с полной остановкой подъема тигля, в моменты замыкания контактного датчика 51
4.3 Техническая реализация контактного метода 65
Глава 5 Высокоточная система автоматического управления выращиванием монокристаллов германия на базе «улучшенного контактного метода» 73
5.1 Описание высокоточной системы управления 73
5.2 Описание технологических циклов работы высокоточной системы управления 78
5.3 Совмещение высокоточной системы управления и одновременного вытягивания монокристалла из фильеры, по способу Степанова 92
5.4 Особенности конструирования датчиков положения уровня расплава, для германия 94
Глава 6 Анализ динамических свойств системы автоматического управления выращиванием слитков на базе «контактного метода» 97
6.1 Зависимость диаметра вытягиваемого кристалла от скорости вытягивания и температуры 97
6.2 Выражение сигнала управления и ошибки 99
6.3 Математическая модель контура управления по скорости 100
6.4 Математическая модель контура управления по температуре 101
6.5 Анализ системы управления 102
6.6 Программное управление динамикой выращивания прямого и обратного конуса слитка 108
Основные результаты и выводы 112
Список литературы 113
