Контроль кристаллов интегральных схем на основе статистического моделирования методом точечных распределений
Столяренко Юлия Александровна. Контроль кристаллов интегральных схем на основе статистического моделирования методом точечных распределений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2006.- 194 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/2012