Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии
Корпачев Максим Юрьевич. Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.13.12 / Корпачев Максим Юрьевич;[Место защиты: ФГУП Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильной электроники и электрооборудования], 2016.- 205 с.