Введение
Глава 1. Обзор литературы и постановка задачи 17
1.1 Существующие приборы и методы для однофотонного детектирования . 17
1.2 Механизм отклика сверхпроводниковых однофотонных детекторов SSPD . 24
1.3 SSPD в виде параллельных полос 36
1.4 SSPD, интегрированный в четвертьволновый резонатор 44
1.5 Выбор объекта исследования и постановка задачи 50
Глава 2. Технология изготовления образцов 53
2.1 Установки и резисты для изготовления исследуемых образцов 53
2.2 Технология изготовления образцов в виде параллельных полосок 56
2.3 Технология изготовления образцов, интегрированных в четвертьволновый резонатор Фабри-Перо 63
2.4 Выводы 70
Глава 3. Методика эксперимента 71
3.1 Методика измерения квантовой эффективности и скорости темнового счета 71
3.2 Методика исследования спектральной чувствительности образцов 74
3.3 Методика исследования отклика образца в виде параллельных полос на одиночные фотоны с длиной волны 10 мкм 78
3.4 Методика анализа статистики интервалов времени между фотоотсчётами 80
3.5 Выводы 82
Глава 4. Квантовая эффективность SSPD в виде меандра 83
4.1 Исследование спектральной зависимости квантовой эффективности от ши
рины сверхпроводящей полоски и тока смещения 83
4.2 Исследование спектральной зависимости квантовой эффективности SSPD в виде меандра в магнитном поле 91
4.3 Выводы 99
Глава 5. Сверхпроводниковый однофотонный детектор в виде параллельных полосок 101
5.1 Фотоотклик сверхпроводникового однофотонного детектора в виде параллельных полосок 101
5.2 Численное моделирование фотоотсчётов и темновых отсчётов образца 110
5.3 Статистическое исследование распределения интервалов времени между двумя последовательными фотооткликами 118
5.4 Выводы 124
Глава 6. Однофотонный детектор с четвертьволновым резонатором 126
6.1 Оптический четвертьволновый резонатор и матричный метод для расчета многослойных структур 126
6.2 Исследование спектральной зависимости SSPD, интегрированного в микрорезонатор 133
6.3 Выводы 142
Заключение 143
Список публикаций автора 145
Литература 150
