Введение
Введение 5
1.1 Актуальность исследований 5
1.2 Цель работы 6
1.3 Практическая значимость 6
1.4 Структура диссертационной работы 6
1.5 Основные положения, выносимые на защиту 6
1.6 Научная новизна работы 7
1.7 Апробация работы 7
Глава 1. Дисперсионный элемент на основе цифровой планарной голограммы 9
1.1 Методика генерации голограмм 9
1.2 Связь между параметрами голограмм 11
1.3 Выбор планарного волновода 13
1.3.1 Структура планарного волновода 13
1.3.2 Материальные потери 15
1.4 Рассеяние света на голограмме 19
1.4.1 Рассеяние света на регулярных решетках 20
1.4.2 Симуляция рассеяния света на голограмме 25
1.5 Результаты и выводы 27
Глава 2. Система подвода света к голограмме 28
2.1 Общая концепция 28
2.2 Модовый конвертер 29
2.2.1 Модовый конвертер в приборах с мелким травлением 30
2.2.2 Модовый конвертер в приборах с глубоким травлением 32
2.3 Контроль поляризации 36
2.3.1 Поляризатор на основе TE-TM конверсии в волноводах с мелким травлением 36
2.3.2 Делитель поляризации в волноводах с глубоким травлением 39
2.3.3 Устойчивый к погрешностям изготовления делитель поляризации с глубоким травлением. 41
2.4 Результаты и выводы 52
Глава 3. Исследование спектрометров на основе числовой планарной голографии 53
3.1 Изготовление оптических чипов 53
3.2 Описание использовавшихся экспериментальных методик и оптических схем 56
3.2.1 Методика тестирования спектральных чипов 56
3.2.2 Измерение спектрального отклика канала голограммы 58
3.2.3 Сборка спектрометра 60
3.2.4 Стенд для тестирования собранных спектрометров 63
3.3 Температурная зависимость показаний спектрометра 65
3.4 Калибровка спектрометров 68
3.5 Двухполосный спектрометр на чипе, изготовленный с использованием одной глубины травления 70
3.6 Спектрометр на чипе с рекордным спектральным диапазоном, изготовленный с использованием одной глубины травления 76
3.7 Результаты и выводы 80
Глава 4. Комбинация спектрометра на чипе с массивом интерферометров Юнга для измерения спектра узкополосных источников света 82
4.1 Описание конструкции 82
4.2 Экспериментальные результаты 87
4.3 Результаты и выводы 91
Заключение 93
Список работ автора по теме диссертации 95
Литература 96
