Введение
1 Электроны на поверхности жидкого гелия 11
1.1 Энергетический спектр электронов на поверхности гелия 11
1.2 Мобильность электронов 15
1.3 Электроны на поверхности гелия как кубиты 17
1.4 Эксперименты в мезоскопических устройствах 23
1.5 Вигнеровский кристалл
1.5.1 Двумерное плавление 28
1.5.2 Нелинейный транспорт вигнеровского кристалла 32
1.6 Электроны в ограниченной геометрии 35
2 Создание микроэлектронных устройств 41
2.1 Фотолитография 41
2.2 Металлизация и сухое травление 44
2.3 Процедура создания микроэлектронного устройства 45
2.4 Проблемы в литографии и модификация образцов 49
2.5 Основные параметры успешных образцов 52
3 Экспериментальная основа для транспортных измерений 55
3.1 3 He рефрижератор 55
3.2 Экспериментальная ячейка 58
3.3 Методика транспортных измерений 60
4 Электростатическая модель электронов в микроканале 65
4.1 Результаты моделирования МКЭ 67
4.2 Сравнение результатов с Монте Карло моделированием 72
5 Транспорт электронов в микроканале 76
5.1 Основные режимы работы микроэлектронного устройства з
5.2 Эффекты гранулярности зарядов 83
5.3 Фазовая диаграмма 86
5.4 Структурная диаграмма 94
5.5 Транспорт одноэлектронной цепочки 98
5.6 Результаты экспериментов на образцах #2 и #3 99
5.7 Прерывистое движение вигнеровского кристалла 104
Публикации автора по теме диссертации 112
Список литературы 114
