Введение
1. Образование дефектов и упорядоченных структур дефектов в тонких пленках при лазерном осаждении 34
1.1. Дефекты в тонких пленках 34
1.2. Взаимодействие дефектов с полями упругих напряжений и температуры. Основные уравнения описывающие движение дефектов 35
1.3. Лазерное пиролитическе осаждение металлических пленок на неоднородно нагретую подложку. Образование упорядоченных структур пор 42
1.4. Методика эксперимента и результаты 44
1.5. Интерпретация результатов образования кольцевых структур пор с позиций пористо-деформационной неустойчивости (ПДН) 52
1.6. Сравнение теории с экспериментом 59
1.7. Влияние дефектов на свойства ВТСП-пленок полученных методом импульсного лазерного испарения мишени 61
1.7.1. Особенности лазерного напыления ВТСП пленок 61
1.7.2. Методика диагностики продуктов испарения ВТСП керамики 63
1.8. Экспериментальные результаты и их обсуждение 65
1.9. Исследование влияния отжига в вакууме и облучения ионами на свойства ВТСП-пленок 70
2 Генерация упорядоченных структур дефектов на поверхности монокристаллического кремния при лазерном воздействии 81
2.1. Поглощение лазерного излучения в поверхностном слое полупроводников. Основные факторы определяющие генерацию высокой концентрации дефектов 81
2.2. Формирование структур дефектов и рельефа поверхности при воздействии лазерного излучения 84
2.3. Генерация обратимых и необратимых структур дефектов и локальное плавление поверхности кремния при воздействии миллисекундных лазерных импульсов 86
2.3.1. Методика проведения эксперимента 88
2.3.2. Экспериментальные результаты 90
2.4. Формирование упорядоченных структур на поверхности кремния в результате неоднородного плавлении поверхности на дислокациях. Суперпозиция когерентных и некогерентных структур 94
2.5. Качественное обсуждение экспериментальных результатов 100
2.6. Дефектно-деформационная неустойчивость и образование поверхностной решетки дефектов 105
2.7. Образование одномерной и двумерной поверхностной решетки дефектов 108
2.8. Возможность управления диффузионными и деформационно индуцированными потоками дефектов в ковалентных полупроводниках с помощью мощного линейно-поляризован ного лазерного излучения 113
2.9. Генерация дислокаций и структур дислокаций на поверхности кремния при квазистационарном режиме лазерного воздействия 117
2.9.1. Краткое описание экспериментальных результатов 118
2.10. Интерпретация наблюдаемых структур дислокаций с позиций модели ДиД упорядочения дислокаций 118
3. Разрушение поверхности твердых тел при импульсном и импульсно-периодическом воздействии лазерного излучения 125
3.1. Генерация и накопление дефектов в поверхностном слое кремния при воздействии лазерных импульсов в вакууме 125
3.2. Экспериментальная установка и результаты исследований 128
3.3. Обсуждение результатов 134
3.4. Генерация дефектов в поверхностном слое кремния при воздействии лазерных импульсов в газовой атмосфере. Ускоренная диффузия газа в обогащенном дефектами припо верхностном слое 145
3.5. Исследование изменений рельефа поверхности на воздухе 149
3.6. Формирование неоднородностей рельефа поверхности при воздействии лазерных импульсов в атмосфере различных газов 153
3.7. Разрушение поверхности кремния и меди при импульсно-периодическом воздействии субмикросекундных лазерных импульсов на воздухе 164
4. Люминесценция тонких металлических пластин и пленок, возбуждаемая пластическими деформациями при воздействии лазерных импульсов 169
4.1. Состояние исследований по деформационно-стимулированной люминесценции металлов 169
4.2. Механолюминесценция хрупких металлов возбуждаемая воздействием миллисекундных мпульсов Nd:YAG лазера 171
4.2.1. Экспериментальная установка, подготовка образцов и методика исследования механолюминесценции металлов 172
4.2.2. Определение вклада теплового свечения в измеряемый сигнал 174
4.2.3. Исследование механолюминесценции вольфрама. Экспериментальные результаты 176
4.2.4. Оценки интенсивности механолюминесценции 179
4.3. Исследование механолюминесценции молибдена. Зависимость порога возбуждения механолюминесценции от толщины образца. Экспериментальные результаты 183
4.4. Обсуждение экспериментальных результатов 188
4.5. Исследование спектрального состава механолюминесценции вольфрама 194
4.5.1. Состояние проблемы по исследованию спектрального состава механолюминесценции металлов 194
4.5.2. Экспериментальная установка для регистрации спектров механолюминесценции 195
4.5.3. Экспериментальные результаты и методика обработки спектров механолюминесценции 196
4.5.4. Обсуждение результатов исследования спектрального состава механолюминесценции 198
4.6. Механолюминесценция тонких металлических пленок 206
4.6.1. Экспериментальные результаты и их обсуждение 207
4.6.2. Возбуждение МЛ воздействием коротких лазерных импульсов. Экспериментальные результаты и их обсуждение 210
5. Формирование квазипериодического рельефа поверхности расплава на стенках канала проплавлення при воздействии лазерных импульсов на металлы и полупроводники. 217
5.1. Неустойчивости поверхности расплава и формирование квазипериодического рельефа при воздействии лазерных импульсов на материалы 217
5.2. Колебательный режим движения расплава в канале проплавлення при воздействии миллисекундных лазерных импульсов 219
5.2.1. Методика эксперимента и результаты 221
5.2.2. Обсуждение экспериментальных результатов 229
5.3. Формирование канала проплавлення при воздействии субмиллисекундных лазерных импульсов на металлы. Влияние внешнего давления и типа газа на развитие неустойчивости рельефа поверхности дасплава и скорость образования канала проплавлення 235
5.3.1. Методика эксперимента и результаты 236
5.3.2. Обсуждение экспериментальных результатов 238
5.4. Исследование динамики развития микрорельефа поверхности под воздействием лазерного импульса 249
Общие выводы 257
