Введение
Глава 1. Научно-методические особенности изучения макрокинетики тлеющего разряда 15
1.1. Особенности экспериментального исследования тлеющего разряда 15
1.2. Структура и свойства тлеющего разряда 25
1.3. Устройство кинетической установки и особенности масс-спектрометрического анализа газовой фазы 30
1.3.1 Проточные и беспроточные реакторы тлеющего разряда 30
1.3.2 Анализ корректности кинетических исследований разряда с помощью масс-спектрометрии 38
1.4. Гравиметрический и зондовый контроль тлеющего разряда 51
1.5. Методика исследования структуры и свойств полимерных пленок 55
Глава 2 Эволюция стабильных продуктов газовой фазы в тлеющем разряде 58
2.1 Кинетика газовой фазы при разряде в среде тетрафторэтилена 64
2.2 Кинетика газовой фазы в смеси тетрафторэтилена с водородом и кислородом 75
2.3. Кинетика газовой фазы в среде гексафторбензола 79
2.4. Кинетика эволюции газовой фазы в среде этилена и ацетилена 83
2.5. Кинетика образования вторичных продуктов в тлеющем разряде 85
2.6. Макрокинетические закономерности тлеющего разряда 94
2.6.1. Неравновесность и лимитирующие процессы в разряде 94
2.6.2. Квазистационарность условий в разряде 98
2.7. Функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) 100
2.7.1. Энергия электронов и параметр подобия \Е / N) 100
2.7.2. Зависимость ФРЭЭ от параметра подобия (E/N) 103
2.8. Макрокинетическое описание химических превращений в нестационарных условиях тлеющего разряда 106
2.8.1. Лимитирование химических стадий и переменный коэффициент скорости реакций разложения мономера 107
2.8.2. Макрокинетика синтеза вторичных продуктов 112
2.9. Микрокинетические особенности тлеющего разряда 115
Глава 3. Кинетика разряда в четыреххлористом кремнии 123
3.1 Известные особенности разложения тетрахлорсилана 123
3.1.1 Установка и экспериментальные условия 124
3.2. Основные экспериментальные результаты 127
3.2.1. Экспериментальная кинетика плазмохимического разложения тетрахлорсилана 129
3.2.2. Макрокинетика газовой фазы разряда в смеси SiCl^ + Oj 129
3.3. Возможные направления плазмохимических процессов 131
3.4. Механизм разложения S1CI4 в бескислородном разряде 135
3.4.1. Электронный удар 135
3.4.2. Влияние реакций с радикалами 139
3.5. Окисление тетрахлорсилана 146
3.5.1. Окисление с предварительной диссоциацией S1CI4 147
3.5.2. Окисление атомарным кислородом молекул БіСЦ 148
3.5.3. Инверсия механизма убыли 154
Глава 4. Кинетика формирования полимерных пленок в тлеющем разряде 160
4.1. Общие известные закономерности формирования полимера в разряде 160
4.1.1. Процессы и механизмы полимеризации в разряде 161
4.1.2. Распределение скоростей полимеризации в тлеющем разряде по зонам 169
4.1.3. Образование мелкодисперсной фазы в тлеющем разряде 170
4.2. Экспериментальная макрокинетика формирования полимера в тлеющем разряде на электродах 173
4.3. Влияние ионной составляющей тока разряда на полимеризацию 181
4.4. Образование ионных «теней» на электроде 182
4.5. Формирование полимерной пленки вне разряда 186
4.5.1. Кинетика полимеризации на подложке под плавающим потенциалом 186
4.5.2. Пространственное распределение скоростей полимеризации в реакторе 193
4.5.3. Изучение пространственного распределения скоростей полимеризационных процессов с помощью диэлектрических нитей 201
4.5.4. Пространственное распределение температуры в реакторе 209
4.6. Макрокинетическое описание процессов полимеризации в нестационарной беспроточной системе 213
4.7 Структура и свойства полимерных пленок 221
4.7.1. ИК и ЭСХА спектры полимерных пленок 221
4.7.2. Физико-механические свойства полимерных пленок 229
Глава 5 Моделирование процессов переноса в тлеющем разряде 240
5.1 Формирование тепловых и макропотоков полимерных частиц в реакторе 240
5.2 Осевое распределение температуры в разряде 242
5.3. Температурные волны в разряде 249
5.4. Скорости конвективного движения макрочастиц 253
5.5. Скорость конвективного потока газа в реакторе 258
5.6. Концентрация макрочастиц в конвективном потоке 259
5.7. О длине свободного пробега макрочастиц в потоке 264
5.8. Общий характер процессов образования и осаждения полимера вне разряда
Заключение 273
Библиографический список 278
Приложения 299
