Введение
Глава 1. Обзор литературы 9
1.1. Различные типы сенсоров концентраций газов 9
1.2. Исследования свойств МДП-сенсоров 12
1.3. Постановка задачи 17
Глава 2. Методика и экспериментальная техника исследований характеристик МДП-сенсоров 18
2.1. Схема устройства и принцип действия МДП-структуры 18
2.2. Схема устройства, принцип действия и электронная блок-схема преобразования сигнала МДП-сенсора 22
2.3. Схема установки для измерений вольт-фарадных характеристик МДП-сенсоров 26
2.4. Схема установки лазерного напыления пленок 28
2.5. Схема установки для определения характеристик МДП-сенсоров... 30
Глава 3. Чувствительность МДП-сенсоров к различным газам 34
3.1. Влияние материала металлического электрода на чувствительность МДП-сенсора 35
3.2. Чувствительности МДП-сенсоров со структурой Pd-Ta205-Si02-Si к различным газам в воздухе 37
Выводы 42
Глава 4. Модель механизма чувствительности МДП-сенсоров к газам 43
4.1. Формулировка новой модели механизма чувствительности МДП-сенсоров 44
4.2. Дополнительное экспериментальное подтверждение модели чувствительности МДП-сенсоров 57
4.2.1. Чувствительность МДП-сенсоров к аммиаку 57
4.2.2. Исследование роли каталитических свойств металлического электрода МДП-сенсора и области локализации ловушек 60
4.2.3. Температурная зависимость чувствительностей МДП-сенсоров к водороду, диоксиду азота и аммиаку 63
Выводы 66
Глава 5. Возможности использования МДП-сенсоров в качестве чувствительных элементов газоанализаторов 67
5.1. Работоспособность МДП-сенсоров в различных газовых средах... 69
5.2. Влияние влажности окружающего воздуха на характеристики МДП-сенсоров 75
5.3. Метод повышения быстродействия МДП-сенсоров 83
5.4. Оценка степени соответствия характеристик МДП-сенсоров требованиям, предъявляемым к чувствительным элементам газоанализаторов 87
Выводы 91
Основные результаты и выводы 94
Список литературы 96
Приложение. Газоанализатор диоксида азота с импульсным нагревом чувствительного элемента 101
