Методология повышения эффективности технологических процессов микроэлектронного производства и надежности изделий микроэлектронной техники на базе спецвоздействий
Попо Родион Афанасьевич. Методология повышения эффективности технологических процессов микроэлектронного производства и надежности изделий микроэлектронной техники на базе спецвоздействий : диссертация ... доктора технических наук : 05.02.22.- Москва, 2005.- 218 с.: ил. РГБ ОД, 71 06-5/315
