Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне
Золотаревский Сергей Юрьевич. Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.15 / Золотаревский Сергей Юрьевич; [Место защиты: ФГУП "ВНИИМС"].- Москва, 2010.- 238 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/2609
