Методы и средства метрологического обеспечения систем зондовой нанометрии
Карабанов Дмитрий Александрович. Методы и средства метрологического обеспечения систем зондовой нанометрии: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.02.23 / Карабанов Дмитрий Александрович;[Место защиты: ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»], 2019.- 136 с.