Введение
Глава 1. Анализ методов выборочного контроля при производстве кристаллов ИМС 13
1.1. Применение статистических методов для контроля и управления качеством кристаллов 13
1.2. Анализ граничного метода контроля 21
1.3. Применение оперативных характеристик для контроля качества 29
1.4. Методы сокращения размерности факторного пространства 37
1.5. Методы статистического моделирования ТП по ретроспективным данным выборочного контроля 42
1.5.1. Предпосылки пассивного эксперимента 42
1.5.2. Модифицированный метод случайного баланса при пассивном эксперименте (ММСБП) 46
1.5.3. Метод наименьших квадратов с предварительной ортогонализацией факторов (МНКО) 51
1.6. Задача повышения эффективности контроля по выборкам малого объема 60
Выводы 61
Глава 2. Повышение эффективности оценок параметров выборок малого объема 63
2.1. Метод точечных распределений 63
2.2. Вывод экспресс-формулы дисперсий выборок при групповых ТП 71
2.3. Метод упорядочения дисперсий 74
2.4. Расслоенный эксперимент с учетом метода упорядочения дисперсий 79
Выводы 87
Глава 3. Повышение эффективности контроля по выборкам малого объёма 88
3.1.Граничный метод 88
3.2. Методы оперативных характеристик 93
3.3. Критерий оценки эффективности контроля 94
Выводы 102
Глава 4. Оптимизация системы выборочного контроля параметров изделия в процессе его изготовления 103
4.1.Сокращение списка контролепригодных параметров 103
4.1.1. Последовательность работ по созданию оптимальной системы выборочного контроля 103
4.1.2. Первичное выделение списка контролепригодных параметров кристаллов 533 и 555 серий 105
4.1.3. первичное выделение списка контролепригодных параметров изделия 786 108
4.1.4. Первичное выделение списка контролепригодных параметров изделия КА1515ХМ1 110
4.2. Нахождение математических моделей технологических процессов (производственные примеры) 112
4.2.1. Математические модели 533 и 555 серий 112
4.2.2. Математические модели производства кристаллов изделия 786 118
4.2.3. Математическая модель производства кристаллов изделия КА15П5ХМ1 121
4.3. Оптимизация выборочного контроля 125
Выводы 130
Заключение 132
Литература 133
Приложения 142
