Введение
1 Система ВЧ возбуждения компактных молекулярных газовых лазеров 15
1.1 Пути увеличения полного КПД компактного СОг-лазера средней мощности 17
1.2 Анализ систем возбуждения компактных С02-лазеров средней мощности 22
1.3 Особенности ВЧ разряда в СОг-лазере 24
1.4 Проблема устойчивости системы ВЧ возбуждения газоразрядных лазеров 29
1.5 КПД системы ВЧ возбуждения 33
1.6 Цель и задачи, решаемые в диссертации 41
2 Однородность ВЧ разряда, возбуждаемого в разрядной камере щелевого типа, представленной системой с распределенными параметрами 42
2.1 Описание модели и границы её применения 42
2.2 Моделирование участка разрядной камеры 46
2.3 Система уравнений для распределения напряжения, тока и концентрации электронов 52
2.4 Решение уравнений 54
2.5 Условие однородности разряда 57
2.6 Численный расчет для двух, часто применяемых на практике цепей подключения 60
3 Устойчивость системы ВЧ возбуждения щелевого СОг-лазера 72
3.1 Постановка задачи анализа устойчивости стационарного режима горения ВЧ разряда 72
3.2 Метод анализа устойчивости 76
3.3 Расчёт абсолютной устойчивости стационарного режима ВЧ разряда 79
3.4 Требования к цепям подключения и длине участка подключения, обеспечивающим абсолютную устойчивость ВЧ разряда 85
3.5 Модель автогенераторной системы ВЧ возбуждения и автомодуляционный режим работы 87
4 Внедрение результатов исследования системы ВЧ возбуждения компактных С02-лазеров средней мощности 93
4.1 Особенности систем ВЧ возбуждения компактных СОэ-лазеров средней мощности, описанных в научно-технической литературе 93
4.2 Описание экспериментальной установки 96
4.3 Методика инженерного расчёта системы ВЧ возбуждения молекулярного лазера 99
4.4 Описание виртуальной лабораторной установки для исследования работы системы ВЧ возбуждения молекулярного газового 102
4.5 Особенности энергетического режима системы ВЧ возбуждения при регулировке мощности лазера 106
Заключение 111
Список использованной литературы 113
Приложение 1
