Введение
Глава 1. Аналитический обзор литературы 13
1.1. Использование параллельных вычислительных систем для расчёта параметров многослойных структур, измеренных с помощью рентгеновских методов 31
1.1.1. Технология NVIDIA CUDA 32
1.1.2. Расчет параметров многослойных структур 34
1.2. Расчет коэффициента отражения рентгеновского излучения 37
1.3. Выводы к главе 1 41
Глава 2. Методы исследования 42
2.1. Неразрушающие методы 42
2.2. Разрушающие методы 47
2.3. Выводы к главе 2 51
Глава 3. Решение прямой задачи в рентгеновской рефлектометрии 52
3.1. Привязка алгоритма пчёл к решаемой задаче 52
3.2 Исследование влияния диапазона поиска и количества итераций на функцию ошибки 54
3.2.1 Однослойная структура (Al-Si) 57
3.2.2 Трёхслойная структура (Al-Si-Al-Si) 57
3.3 Определение эффективности применения известных и собственных алгоритмов для расшифровки моделируемых рентгеновских рефлектограмм 58
3.3.1 Описание эксперимента 58
3.4 Экспрессный метод обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии 61
3.5.Технологический подход к анализу многослойных структур 65
3.8 Выводы к главе 3 67
Глава 4. Решение обратной задачи в рентгеновской рефлектометрии 68
4.1 Увеличение точности компьютерной обработки относительных рентгеновских рефлектограмм 68
4.2 Повышение эффективности обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии при использовании графических процессоров и технологии CUDA 72
4.2.1 Описание эксперимента 72
4.2.2 Основные результаты 73
4.3.Расшифровка экспериментальных рентгеновских рефлектограмм при помощи распространённых и собственных алгоритмов. Сравнение их эффективности 81
4.3.1.Методика эксперимента 81
4.3.2.Обсуждение результатов 84
4.4. Измерение образцов независимыми методами 85
4.5 Выводы к главе 4 87
Основные результаты и выводы 88
Благодарности 90
Список литературы 91
