Введение
1. Анализ конструкции проектируемого ММГ
1.1. Устройства обеспечения работы ММГ вибрационного типа 14
1.2. Конструкция микромеханического узла проектируемого ММГ 22
1.3. Конструкции чувствительных элементов ММГ RR-типа 28
2. Электродные структуры ММГ RR- типа
2.1. Задачи анализа электродных структур ММГ 41
2.2. Анализ гребенчатой электродной структуры ММГ RR-типа 43
2.3. Анализ электродной структуры с плоскими электродами 50
2.4. Взаимное влияние электродных структур каналов первичных и вторичных колебаний 60
2.5. Эквивалентная электрическая схема электродной структуры одуля ВКМ 64
3. Преобразователи емкость - напряжения для ММГ
3.1. Применения ПЕН в инерциальных датчиках 70
3.2. Принципы работы преобразователя емкости - напряжения 71
3.3. Анализ влияния паразитных емкостей на работу ММГ 78
3.4. Двухканальный и многоканальный ПЕН 88
3.5. Оценка разрешающей способности двухканального ПЕН 92
4. Подавление помех и выделение полезного сигнала в ММГ
4.1. Выделение сигнала на частоте первичных колебаний ПМ 95
4.2. Автогенератор 98
4.3. Подавление сигнала квадратурной помехи 102
4.4 Комплексное проектирование системы съема информации ММГ 109 Выводы по главе 4 114
Заключение 115
Публикации автора по теме диссертации 117
Литература 120
