Введение
ГЛАВА 1. Анализ технических требований и технических решений при создании диффузионных установок 13
1.1 Анализ влияния параметров управления на процессы диффузии 13
1.2 Анализ технических решений по научно-технической литературе 16
1.3 Анализ изветстных методов и средств распознавания дефектов топологии 19
ГЛАВА 2. Разработка алгоритма оптимального управления диффузионной установкой 24
2.1 Оптимальное управление диффузионной установкой на последнем участке нагрева 24
2.1.1 Определение оптимального управления 24
2.2 Оптимальное управление диффузионной установкой на начальном участке нагрева . 33
2.2.1 Постановка задачи 34
2.2.2 Определение оптимального управления 35
2.3 Оптимальное управление диффузионной установкой при ограничении допустимой скорости нагрева 43
2.3.1 Постановка задачи 43
2.3.2 Определение оптимального управления 44
2.4 Экспериментальное определение параметров объекта 53
2.4.1. Метод снятия частотных характеристик 53
2.4.2 Определение параметров объекта по переходной функции 54
2.4.3 Оценка предельных значений тепловых потоков. 56
ГЛАВА.3 Контроль качества фотолитографии 59
3.1. Особенности топологии фотошавлонов 59
3.2 Математические модели дефектов топологии 66
3.2.1 Математическая модель изображения топологии 66
3.3 Алгоритм распознавания дефектов типа “сужение размеров фигур” 69
3.4 Алгоритм распознавания дефектов типа “сужение промежутков между фигурами” 78
ГЛАВА 4. Техническая реализация устройств управления температурой диффузионной печи . 83
4.1 Разработка структурной и функциональной схем цифровой системы управления 83
4.2 Выбор и обоснование узлов системы управления. 86
4.2.1 Выбор термоэлектрических преобразователей (термопары) 86
4.2.2 Выбор измерительного усилителя и компенсация влияния напряжения смещения нуля 89
4.2.3 Разработка системы управления инвертором диффузионной установки. 97
4.3 Разработка алгоритмов управления режимами диффузионной
установки. 101
4.3.1 Сравнение полученного закона оптимального управления с
пропорционально-интегрально-дифференциальным управлением 104
4.4 Физическое моделирование системы управления температурой
диффузионной установки в среде ПЛК 108
4.4.1 Серия модулей ввода/вывода Bus Terminal 109
4.4.2 Разработка физической модели и программного обеспечения системы. 111
Заключение 119
Список литературы 122
